TLS系列
精密冷水机
半导体设备专用
用于半导体制造装置、分析检测设备等发热部位冷却及温度控制。
- 温度范围: 5~85℃
- 控温精度: ±0.1℃
- 显示分辨率: 0.01℃
- 控制方式: PLC+PID
- 通信协议: RS485 Modbus RTU

精密温控产品矩阵
覆盖半导体制造、检测设备、工业加工及低温应用的温度控制解决方案。
用于半导体制造装置、分析检测设备等发热部位冷却及温度控制。
适用于化工、制药、食品、机械加工等多种工业场景的温度控制。
适用于医药、化工、机械等领域的生产工艺冷源,以及模具冷却、电镀槽冷却、超声波清洗液冷却。
大制冷量工业集中冷源系统,适用于生产线、工艺冷却等大型应用。
复叠制冷技术,最低可达 -110℃,满足极低温实验和工艺需求。
用于气体(氮气、压缩空气等)降温,广泛应用于晶圆测试和激光设备。
适用于真空涂覆冷阱、半导体芯片测试、热沉试验、低温液浴、气体捕集、药品冻干等多种用途。
±0.1℃精准控温
温度稳定可靠
PLC+PID智能算法
自动调节温度
多种保护功能
保障设备安全
国际品牌压缩机
性能稳定寿命长
根据需求定制设计
满足特殊工艺
快速响应售后团队
全程技术支持